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174

111

구리 ECMP에서 전류밀도가 재료제거에 미치는 영향
박은정, 이현섭, 정호빈, 정해도
한국윤활학회지, 2015

112

선형 Roll-CMP에서 공정변수에 관한 통계적 분석
왕 함, 이현섭, 정해도
J. Korean Soc. Tribol. Lubr. Eng., 2014

113

CMP 공정중 박막 종류에 따른 AE 신호 분석
박선준, 이현섭, 정해도
Trans. Korean Soc. Mech. Eng. A, 2014

114

구리 CMP 후 버핑 공정을 이용한 연마 입자 제거
신운기, 박선준, 이현섭, 정문기, 이영균, 이호준, 김영민, 조한철, 주석배, 정해도
J. KIEEME, 2011

115

산화막 CMP에서 패드 두께가 연마율과 연마 불균일도에 미치는 영향
배재현, 이현섭, 박재홍, 니시자와 히데키, 키노시타 마사하루, 정해도
J. KIEEME, 2010

116

스윙 암 컨디셔너의 기구학적 해석을 통한 CMP 패드 프로파일 변화에 관한 연구
오지헌, 이상직, 이호준, 조한철, 이현섭, 김형재, 정해도
J. KIEEME, 2018

117

화학기계적 연마에 의한 리튬니오베이트의 광학 특성에 관한 연구
정석훈, 김영진, 이현섭, 정해도
대한기계학회논문집 A, 2009

118

Prediction of Normalized Material Removal Rate Profile Based on Deep Neural Network in Five-Zone Carrier Head CMP System
이현섭, 조연상, 김명준, 홍문영, 한주철, 김홍진, 김현기
INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING-GREEN TECHNOLOGY, 2025

119

분자 간 상호작용 기반 상변화 모델을 이용한 액체수소 저장용기의 증발가스 발생 평가
이현섭, 황해성, 한승호
한국수소및신에너지학회논문집, 2025

120

CMP 후 세정 공정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에따른 세정액 유동 해석
이현섭, 이재욱
한국트라이볼로지학회지, 2024