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174

131

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향
이현섭, 서준영
한국트라이볼로지학회지, 2019

132

무윤활 상태에서 3D 프린팅용 ABS-like 레진의 마찰 및 마모 특성에 관한 연구
이현섭, 조영상
한국정밀공학회지, 2019

133

Semi-empirical Material Removal Model with Modified Real Contact Area for CMP
이현섭
INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING, 2019

134

Effect of Citric Acid in Cu Chemical Mechanical Planarization Slurry on Frictional Characteristics and Step Height Reduction of Cu Pattern
이현섭
한국트라이볼로지학회지, 2018

135

Effect of Free Abrasives on Material Removal in Lap Grinding of Sapphire Substrate
이현섭, 서준영, 김태경
한국트라이볼로지학회지, 2018

136

Estimating the mechanical properties of polyurethane-impregnated felt pads
Lee, H (Lee, Hyunseop), Lee, D (Lee, Dasol)
JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2017

137

Effect of Pressure on Edge Delamination in Chemical Mechanical Polishing of SU-8 Film on Silicon Wafer
이현섭, 박선준, 임석연
한국윤활학회지, 2017

138

폴리아세탈의 입자유동베드 가공에서 회전속도와공기 유량이 재료제거 특성에 미치는 영향
장양제, 김태경, 황현덕, 서준영, 이다솔, 이현섭
한국윤활학회지, 2017

139

Effect of hydrogen peroxide and oxalic acid on material removal in al CMP
Jeong J.Y., Lee H.S., Lee D.S., Jeong H.D.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering, 2017

140

Environmental Impact of Concentration of Slurry Components in Thick Copper CMP
Lee, H (Lee, Hyunseop)
INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING-GREEN TECHNOLOGY, 2017