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174

171

광조형법을 이용한 고분자 리소그래피에 관한 연구
정해도, 조인호, 손재혁, 이현섭, 정영대
한국정밀공학회지, 2005

172

CMP 공정에서 마찰에너지가 연마결과에 미치는 영향
정해도, 김구연, 박범영, 이현섭, 서헌덕, 김형재
대한기계학회논문집 A, 2004

173

CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향
박기현, 정해도, 김구연, 박범영, 이현섭, 김형재
전기전자재료학회논문지, 2004

174

CMP 결과에 영향을 미치는 마찰 특성에 관한 연구
정해도, 김구연, 박범영, 이현섭, 서헌덕, 김형재
전기전자재료학회논문지, 2004