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174

101

무윤활 상태에서 3D 프린팅용 ABS-like 레진의 마찰 및 마모 특성에 관한 연구
조영상, 이현섭
한국정밀공학회지, 2019

102

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향
서준영, 이현섭
Tribol. Lubr., 2019

103

화학기계적 연마기술 연구개발 동향: 입자 거동과 기판소재를 중심으로
이현섭, 성인하
한국트라이볼로지학회지, 2019

104

화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향
이현섭
한국트라이볼로지학회지, 2018

105

Effect of Free Abrasives on Material Removal in Lap Grinding of Sapphire Substrate
Junyoung Seo, Taekyoung Kim, Hyunseop Lee
Tribol. Lubr., 2018

106

Effect of Citric Acid in Cu Chemical Mechanical Planarization Slurry on Frictional Characteristics and Step Height Reduction of Cu Pattern
Hyunseop Lee
Tribol. Lubr., 2018

107

Al CMP에서 과산화수소와 옥살산이 재료제거에 미치는 영향
정진엽, 이현섭, 이다솔, 정해도
한국정밀공학회지, 2017

108

폴리아세탈의 입자유동베드 가공에서 회전속도와 공기 유량이 재료제거 특성에 미치는 영향
장양제, 김태경, 황현덕, 서준영, 이다솔, 이현섭
J. Korean Soc. Tribol. Lubr. Eng., 2017

109

Effect of Pressure on Edge Delamination in Chemical Mechanical Polishing of SU-8 Film on Silicon Wafer
Sunjoon Park, Seokyeon Im, Hyunseop Lee
J. Korean Soc. Tribol. Lubr. Eng., 2017

110

냉각수 유량에 따른 양면 랩그라인딩 정반의 전열특성
김동균, 김종윤, 이현섭
J. Korean Soc. Tribol. Lubr. Eng., 2016