CMP 패드 컨디셔닝에서 딥러닝을 활용한 컨디셔너 스윙에 따른 패드 마모 프로파일에 관한 연구

무윤활 상태에서 3D 프린팅용 PLA 및 PETG 소재의 마모 현상에 관한 연구

SiO2/TiO2 혼합입자 슬러리 SiC CMP의 재료제거율 모델링

자외선 광을 활용하는 화학기계적 연마에 관한 연구 동향

인공신경망을 활용한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수에 다른 컨디셔닝 밀도의 불균일도 분석

패드 마모 균일성 향상을 위한 CMP 컨디셔닝 시스템 설계 변수 연구

전해 이온화와 자외선광을 이용한 사파이어 화학기계적 연마의 재료제거 효율 향상에 관한 기초 연구

전기화학-기계적 평탄화에 관한 연구 동향 분석

실리콘 오일 점도에 따른 ABS-like 레진의 트라이볼로지 특성

ABS 유사 수지의 연마에서 마찰 특성이 표면 거칠기 및 광택도에 미치는 영향