발행물
컨퍼런스
제 44회 한국진공학회(The 44th Winter Annual Conference of the Korean Vacuum Society)
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유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정
플라즈마에서 볼츠만 관계식의 실험적 검증
펄스플라즈마에서 부유고조화를 이용하여 고시간분해능으로 플라즈마 진단방법
이중 주파수의 위상변화에 따른 자기바이어스를 이용한 플라즈마 변수 측정
다양한 부유 고조화파 탐침법의 비교연구