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자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성

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Uniformity Control by using helium gas in the large area ferrite side type inductively coupled plasma

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0차원 모델을 이용한 공정장비 Scale up 연구

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준안정 준위를 포함한 헬륨 플라즈마의 영차원 모사 연구

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유도 결합 플라즈마에서 시스템의 소비 전력 측정 방법에 대한 연구