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전체 논문

245

201

유도결합 플라즈마에서 정전탐침과 마이크로 파 탐침을 이용한 플라즈마 밀도 측정 비교 연구
정진욱, 0, 0, 0, 0
새물리, 200505

202

13.56MHz discharge에서 Ferrite core의 효과
정진욱
고전압및 방전 응용 기술 연구회 춘계학술대회 논문집, 200505

203

Double half turn 안테나에 의해 발생된 플라즈마 특성 연구
정진욱
대한전기학회 고전압 방전 논문집, 200505

204

아르곤-실란 축전 결합 플라즈마에서 전자 밀도가 티끌 입자에 미치는 영향에 관한 연구
정진욱
대한전기학회 고전압 방전 응용기술 논문집, 200505

205

Development of a Dual inductively coupled plasma source for direct and remote plasma generation in a reactor
정진욱, 0, 0, 0, 0
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES &, 200502

206

Development of a dual inductively coupled plasma for direct and remote plasma generation in a reactor
10091406
Japanese Journal of Applied Physics - 직접입력, 200502

207

On a dual inductively coupled plasma for direct and remote plasma in a reactor
10091406
Physics of Plasmas - 직접입력, 200410

208

원통형 량뮤어 프로브에서의 플라즈마 전위와 부유 전위의 플라즈마 밀도 의존성 연구
정진욱
대한전기학회 논문집, 200407

209

Experimental measurement of the electorn energy distribution function in the radio frequency electron cyclotron resonance inductive discharge
정진욱, 0
PHYSICAL REVIEW E, 200401

210

Experimental measurement of the electron energy distribution fucntion in the radio frequency electron cyclotron resonance inductive discharge
10091406
Physical Review E - 직접입력, 200401