2022.04

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A study on the effect of composition and thickness on ferroelectricity in Hf1-xZrxO2 thin films

2022.04

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원자층 증착공정을 통해 제작된 TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN 강유전체 캐패시터의 증착온도에 따른 잔류불순물과 그에 따른 분극 반전 특성 변화

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강유전체 소재 물성 및 소자 응용

2022.02

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원자층 증착 공정을 통해 제작된 플루오라이트 구조 강유전체의 잔류 불순물에 따른 분극 반전 특성

2022

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Ti 박막층의 Direct Scavenging Effect를 이용한 Mo/Hf0.3Zr0.7O2/Si capacitor의 반강유전성 및 endurance 특성의 개선에 대한 연구