발행물
컨퍼런스
Material Research Society of Korea 2021 Fall Meeting
2021.11
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전계 유도 강유전성 HfO 2 -ZrO 2 나노라미네이트 박막의 에너지 변환 및 저장 특성에 관한 연구
원자층 증착 공정의 증착 온도에 따른 Hf0.5Zr0.5O2 박막의 분극 반전특성에 대한 영향
산화하프늄 기반 강유전체의 계면 제어를 통한 강유전성 강화
The Korean Institute of Surface Engineering 2021 Spring Meeting
2021.06
Mo/Hf 0.3 Zr 0.7 O 2 /n+-Si의 Ti 전극 기반 Direct scavenging Effect를 활용한 SiO x 계면층 생성 억제 및 반강유전성 개선에 대한 연구
Wake-up 현상이 억제된 강유전성 Mo/Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 /Mo 캐패시터의 제작 및 특성 평가