2022

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W 전극 위에 증착된 플루오라이트 구조 Hf0.5Zr0.5O2 강유전성 박막의 우수한 강유전성에 관한 연구

2022

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Improvement of HZO/Si interface properties in Mo/Hf 0.3 Zr 0.7 O 2 /Si capacitor using Ti thin layer

2022

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Ferroelectric properties of Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 thin film enhanced by W Electrode

2021.11

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Mo 하부전극을 통한 Wake-up 현상 억제 Hf 0.5 Zr 0.5 O 2 캐패시터의 제작 및 특성 평가

2021.11

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Ti 박막의 Direct Scavenging Effect를 이용한 Mo/Hf 0.3 Zr 0.7 O 2 /Si capacitor의 반강유전성 개선에 대한 연구