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고등 원자층 증착법

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고등 원자층 증착법: Discrete feeding method를 이용한 금속 산화물 박막 성장 공정

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고등 원자층 증착법: Discrete feeding method 및 electric potential-assisted ALD를 통한 금속 극박막 성장

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Atomic layer deposition of Ru thin film using a newly synthesized precursor with open-coordinated ligands

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Advanced Atomic Layer Deposition: Metal Oxide Thin Film Growth Using the Discrete Feeding Method