발행물
컨퍼런스
58th Annual Gases Electronics Conference
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Absolute electron density measurement using the cut-off method in magnetized plasmas
On the floating type Langmuir probe using the harmonic technique in ICP
Noninvasive Measurement of Ion Energy Distribution in a plasma etching system
한국진공학회 학술발표 대회
부유형 단일 탐침응 이용한 플라즈마 진단법
하모닉 테크닉을 이용하는 플로팅형 랭뮤어 탐침 측정에 대한 연구