2004

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CHARACTERISTICS OF ALUMINIUM OXIDE FILMS GROWN BY ATOMIC LAYER DEPOSITION

2003

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GETE, SB2TE3로 증착된 MULTI LAYER의 상변환 온도 및 계면의 미세구조 변화 연구

2003

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GE 함량에 따른 NI GERMANOSILICIDE 박막의 열 안정성 연구

2003

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UHV-CVD를 이용한 EPI-SIGE의 증착 특성 연구

2003

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고집적 소자에의 적용을 위한 NICKEL SALICIDE 공정 연구