2003

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ALD로 증착한 HFO2 게이트 유전막의 특성 연구

2003

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DC MAGNETRON SPUTTER로 증착한 (HFO2)1-X(AL2O3)X 박막의 열처리에 따른 물리적, 전기적 특성 연구

2003

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원자층 증착법을 이용한 알루미늄 옥사이드 특성 연구

2003

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THE STUDY OF NIKEL SILICIDE FILM ON DIELECTRIC BY NIKEL AND TATALIUM ALLOY

2003

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THE CRYSTALLIZATION BEHAVIOR AND INTERFACIAL REACTION OF THE GE2SB2TE5 THIN FILMS BETWEEN DIELECTRI