발행물
컨퍼런스
2020 한국반도체학술대회
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초청발표
구두발표
포스터발표
2022년도 한국 재료 학회 춘계 학술 대회
Ultra-low Resistivity Molybdenum Carbide Thin Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Using a Cyclopentadienyl-based Precursor
제 29회 한국반도체학술대회
Improvement of the Electrical Properties in Hf0.3Zr0.7O2 with Al doping Using Atomic Layer Deposition