나노 구조물 점착 방지막 제조 공정 기술 개발

과학기술부

2004년 04월 - 2005년 03월

세라믹 가공기술과 CVC 박막 증착 기술을 이용한 신개념 CMP Conditioner 기술개발

과학기술부

2004년 03월 - 2005년 02월

Microfluidics 시스템용 젖음성 평가 장치

지방자치단체

2003년 12월 - 2004년 11월

세라믹 가공기술과 CVD 박막 증착 기술을 이용한 신개념 CMP Conditioner 기술개발

과학기술부

2003년 03월 - 2004년 02월

나노 구조물 점착 방지막 제작 공정 기술 개발

과학기술부

2002년 10월 - 2003년 06월

환경친화적 일조형 웨이퍼 세정 기술 보급

산업자원부

2001년 08월 - 2002년 07월

마이크로 머시닝에 의한 Passive Spiral 인덕터 소자의 개발

과학기술부

2001년 03월 - 2002년 02월

마이크로 머신닝에 의한 Passive Spiral 인덕터 소자의 개발

과학기술부

2000년 03월 - 2001년 02월