Damage Free 기술을 이용하는 10nm급 반도체 및 8세대 디스플레이용 세정장비 핵심원천기술 개발

산업통상자원부

2013년 09월 - 2014년 08월

다중 진동모드를 가지는 초음파세정 Unit 제어기술개발

산업통상자원부

2013년 06월 - 2014년 05월

반도체 STI CMP용 Ceria 입자 개발 및 특성 평가

미래창조과학부

2013년 06월 - 2014년 05월

반도체용 포토마스크 보호를 위한 펠리클 프레임 제조 시 발생되는 오염물 제거를 위한 세정 공정 개발

교육과학기술부

2013년 03월 - 2014년 02월

Damage Free기술을 이용하는 10nm급 반도체 및 8세대 디스플레이용 세정장비 핵심원천기술 개발

지식경제부

2012년 09월 - 2013년 08월

다중 진동모드를 가지는 초음파세정 Unit 제어 기술 개발(전자협약과제)

지식경제부

2012년 06월 - 2013년 05월

반도체 STI CMP용 Ceria 입자 개발 및 특성 평가 -2차년도

교육과학기술부

2012년 06월 - 2013년 05월

블랭크 마스크용 기관 가공 기술 개발

지식경제부

2011년 08월 - 2012년 07월

다중 진동모드를 가지는 초음파세정 Unit 제어 기술 개발 전자협약과제

지식경제부

2011년 06월 - 2012년 05월

가스가 첨가된 친환경 반도체 세정액의 오염 입자 제거 메커니즘 규명

교육과학기술부

2011년 05월 - 2011년 10월