CO2 Snow Jet을 이용한 디스플레이 기판용 친환경 세정 장치 및 공정 기술 개발

정부출연기관

2011년 03월 - 2011년 12월

시스템 인테그레이션

지식경제부

2010년 11월 - 2011년 10월

기술인프라활용촉진사업

지식경제부

2010년 08월 - 2010년 12월

차세대 반도체 CMP 공정에서의 Defect 및 Scratch 감소를 위한 Contamination Free Conditioner 개발

정부출연기관

2010년 05월 - 2011년 02월

마이크로플루이딕스칩과 소형형광측정기를 이용한 독성물질 검출기술 개발

지식경제부

2009년 12월 - 2010년 12월

45nm 세정시스템 개발

지식경제부(산자부)

2009년 11월 - 2010년 10월

Wafer, Panel Glass용 Polishing Pad 및 TFT LCD용 고기능 Wiper 개발

지식경제부(산자부)

2009년 11월 - 2010년 10월

대면적 기판용 고속 세정시스템 개발

중소기업청

2009년 11월 - 2010년 10월

반도체 공정의 초미세 입자 제거용 건식 세정기술개발

지식경제부(산자부)

2009년 09월 - 2010년 08월

기술인프라 활용촉진사업

지방자치단체

2009년 08월 - 2009년 12월