61
하이브리드 세정시스템 개발
정부출연기관
2007년 09월 - 2008년 08월
62
50nm급 반도체 산화막 CMP 후 세정 및 건조 재료 부품의 개발 및 평가
산업자원부
2007년 08월 - 2008년 07월
63
차세대 나노 및 마이크로 복제 금형 개발
중소기업청
2007년 07월 - 2008년 06월
64
마이크로플루이딕스 타입의 금형 및 디바이스 개발
중소기업청
2007년 06월 - 2008년 05월
65
X-ray 검출센서 개발을 위한 공정기술개발
보건복지부
2007년 04월 - 2008년 03월
66
대면적 나노임프린트용 점착 방지막 개발
과학기술부
2007년 04월 - 2008년 03월
67
연구장비 공동이용 클러스터사업(2007년도 1차)
중소기업청
2007년 04월 - 2007년 10월
68
알루미늄 소재의 아노다이징 시 표면 크랙발생 최소화 공정개발
중소기업청
2007년 - 2007년 12월
69
나노입자 세정 메커니즘 및 평가를 위한 연구 개발
산업자원부
2006년 11월 - 2007년 10월
70
마이크로플루이딕스칩과 소형 형광측정기를 이용한 독성물질 검출기술 개발
산업자원부
2006년 10월 - 2007년 09월