EUV 마스크 클리닝 공정의 성능평가 연구

산업자원부

2006년 09월 - 2007년 08월

마이크로급 고정밀 광학 SUS 금형개발

지방자치단체

2006년 09월 - 2007년 08월

하이브리드 세정 시스템 개발(기술개발과제)

정부출연기관

2006년 09월 - 2007년 08월

50 나노급 반도체용 oxide CMP 장비의 부품 소재 개발

산업자원부

2006년 08월 - 2007년 07월

초음파 세정장치의 세정기법 개발 및 세정성능 평가

정부투자기관

2006년 06월 - 2007년 06월

Conditioner 가 CMP 공정에 미치는 영향평가

산업자원부

2006년 04월 - 2007년 03월

Nanometer 크기 입자의 표면 부착력과 제거력 측정 기술의 응용

정부출연기관

2006년 - 2006년 10월

나노급 defect free 차세대 반도체 세정기술 개발

산업자원부

2005년 09월 - 2006년 08월

차세대 Cu CMP용 Collodidial Sillica 개발

정부출연기관

2005년 09월 - 2006년 08월

50mm 나노급 반도체용 oxide CMP 장비의 부품 소재 개발

산업자원부

2005년 08월 - 2006년 07월