10nm 이하 device 적용을 위한 차세대 드레서 연구 개발

중소벤처기업부(2017Y)

2019년 - 2019년 12월

반도체 CMP공정용 CVD 패드 컨디셔너 양산 기술 개발

지방자치단체

2018년 - 2018년 12월

치과용 임플란트 픽스처 제조공정 개선을 위한 저농동 식각액 및 표면친수 처리 공정 개발

산업통상자원부

2017년 11월 - 2018년 11월

1x nm급 Defect Free EUVL을 위한 마스크 세정 공정 및 펠리클 개발

산업통상자원부

2017년 06월 - 2018년 05월

고경도 사파이어 기판 연마용 금속수지정반 기술개발

중소기업청

2015년 11월 - 2016년 11월

Damage Free 기술을 이용한 10nm급 반도체 및 8세대 디스플레이용 세정장비기술 개발

산업통상자원부

2015년 09월 - 2016년 08월

범핑마스크 제작을 위한 전기화학 식각 공정 개발

교육부(2013Y)

2015년 06월 - 2016년 02월

다중 진동모드를 가지는 초음파세정 Unit 제어기술 개발

산업통상자원부

2014년 06월 - 2015년 05월

사파이어 기판 및 유리 제조를 위한 복합 금속 수지정반 기술 개발

교육부(2013Y)

2014년 06월 - 2015년 02월

미량 및 정량 분석을 위한 micro/nano well array 소자 개발

미래창조과학부

2014년 03월 - 2015년 02월