차세대 나노 및 마이크로 복제 금형개발

중소기업청

2008년 09월 - 2009년 08월

블랭크 마스크용 기판 가공 기술개발

산업자원부

2008년 08월 - 2009년 07월

2008년 연구장비 공동이용 클러스터사업(사업비)

중소기업청

2008년 03월 - 2009년 02월

2008년 연구장비 공동이용 클러스터사업(운영비)

중소기업청

2008년 03월 - 2009년 02월

나노입자 세정 메커니즘 및 평가를 위한 연구개발

산업자원부

2007년 11월 - 2008년 10월

연구장비 공동이용 클러스터사업(2007년도 2차)

중소기업청

2007년 11월 - 2008년 02월

환경 친화적인 반도체 및 FPD영 Glass 표면 연마제

지방자치단체

2007년 11월 - 2008년 10월

마이크로플루이딕스 타입의 바이오칩과 형광측정기를 이용한 탐지 기술 개발

산업자원부

2007년 10월 - 2008년 09월

EUV 마스크 세정기술개발

산업자원부

2007년 09월 - 2008년 08월

나노급 defect free 차세대반도체 세정기술 개발

산업자원부

2007년 09월 - 2008년 08월