Metal CMP공정용 신개념 Diamond Disk 개발

지방자치단체

2005년 06월 - 2006년 05월

Poli-500(cmp) 분석을 통한 연구

정부출연기관

2005년 06월 - 2005년 06월

초음파 세정장치의 세정기법 개발 및 세정 성능 평가

산업자원부

2005년 06월 - 2006년 06월

Nanometer 크기 입자의 표면 부착력과 제거력의 이론적, 실험적 측정

산업자원부

2005년 - 2005년 10월

극자외선 리소그라피용 마스크의 습식 및 건식 세정 공정 중 오염입자의 흡착 및 제거 메커니즘

교육인적자원부

2004년 12월 - 2005년 11월

나노 임프린트용 점착방지막의 개발 및 평가

교육인적자원부

2004년 12월 - 2005년 11월

차세대 Cu CMP용 Colloidal Silica 개발

정부출연기관

2004년 09월 - 2005년 08월

03년 해외공동연구 지도교수 현지방문지도경비

과학기술부

2004년 08월 - 2005년 08월

03(후) 해외공동연구지원사업 ( 반도체 배선용 구리의 화학적 기계연마 공정 및 세정 공정 개발)

과학기술부

2004년 06월 - 2004년 12월

CMP 공정 및 웨이퍼 표면상의 오염 입자 제거에 관한 연구

과학기술부

2004년 06월 - 2005년 05월