발행물
컨퍼런스
2024년도 한국기계가공학회 춘계학술대회
2024
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전기화학-기계적 평탄화에서 전류 변화에 따른 구리의 재료제거율과 마찰력에 관한 연구
한국기계가공학회 추계학술대회
2023
ECMP 후 세정에서 공정 조건에 따른 세정액 유동에 관한 연구
마모 해석을 통한 웨이퍼 연삭휠의 마모율 추정
한국정밀공학회 2023년도 추계학술대회
CMP 후 세정에서 브러쉬 및 웨이퍼 회전 속도에 따른 세정액 유동 특성
대한기계학회 2023년 학술대회
반도체 CMP 후 세정에서 유량에 따른 세정액 유동에 관한 연구