발행물
컨퍼런스
2021년 한국세라믹학회 추계학술대회
2021
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A Preliminary Study on Ultraviolet-Assisted Sapphire CMP
2021년도 한국트라이볼로지학회 제71회 추계학술대회
탄화규소 및 사파이어 기판을 위한 화학기계적 연마(CMP)에 관한 문헌적 고찰
전기화학-기계적 평탄화(ECMP)에 관한 문헌적 고찰
CMP 컨디셔닝 시스템 설계변수에 따른 패드 마모 프로파일 연구
24th International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization
Preliminary Study on Contact-Area-Changeable CMP Conditioning