발행물
컨퍼런스
2022 대한기계학회 생산 및 설계공학 부문 춘계학술대회
2022
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전해이온화 슬러리 CMP에서 과산화수소 함량 변화에 따른 전기화학적 특성 분석
한국정밀공학회 2022년도 춘계학술대회
전기화학기계적 연마용 슬러리의 전기화학적 특성 분석
2022년도 한국기계가공학회 춘계학술대회
니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구
2022년도 한국트라이볼로지학회 제72회 춘계학술대회
전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성
2021년도 한국기계가공학회 추계학술대회
2021
스윙암 CMP 컨디셔닝 시스템의 설계변수 최적화 연구