발행물
컨퍼런스
2024 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회
2024
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LiTaO3 웨이퍼용 연삭휠의 형상에 따른 마모량에 관한 연구
가공정밀도 향상을 위한 다이아몬드 로타리 드레샤 공정 기술 연구
전기화학-기계적 연마 장치의 회전속도에 따른 전해액 유동 해석
화학적 기계적 연마에서 슬러리 유동의 해석을 위한 CFD 프로세스 개발
화학기계적 연마(CMP)에서 연마 헤드의 오실레이션 속도에 따른 상대속도 변화 해석