발행물
컨퍼런스
한국트라이볼로지학회 2024년도 제 76회 추계학술대회
2024
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신경망을 이용한 SiO2 CMP의 재료제거율 예측
제 13회 한국유체공학 학술대회
화학적 기계적 연마 공정에서 슬러리 유동의 수치해석 방법 연구
대한기계학회 재료 및 파괴부문 2024년 춘계학술대회
LiTaO3 웨이퍼용 연삭휠의 회전속도에 따른 마모에 관한 수치적 연구
2024 대한기계학회 생산 및 설계공학부문 춘계학술대회
LiTaO3 웨이퍼 그라인딩과 CMP 에서의 표면 손상층에 관한 연구
CMP 컨디셔닝에서 패드 마모율 프로파일 예측에 관한 기초 연구