발행물
컨퍼런스
PACRIM-CMP2004
,
Monitoring System in CMP Process
International Symposium on Nanomanufacturing 2004
A Study on the polymer Lithography using Streolithography Technology
한국정밀공학회 2004년 추계학술대회
마찰력 특정을 통한 CMP 공정의 모니터링
한국전기전자재료학회 2004년 하계학술대회
CMP공정에서 마찰력 측정을 통한 마멸 및 윤활 특성에 관한 연구
The 6th International Conference on Manufacturing Process&Technology (ICMPT 2025)
2025
Effect of Slurry Componentson Material Removal in LiTaO3 CMP