발행물
컨퍼런스
2024년도 한국기계가공학회 추계학술대회
2024
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LiTaO3 CMP에서 패드와 슬러리 입자 크기 변화에 따른 재료제거 특성 연구
SiO₂ CMP 공정에서 ANN을 이용한 재료 제거율 예측
한국정밀공학회 2024년도 추계학술대회
LiTaO3 초박판화를 위한 CMP 슬러리 연구
대한기계학회 2024년 학술대회
LiTaO3 CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 재료제거율 연구
한국트라이볼로지학회 2024년도 제 76회 추계학술대회
LiTaO3 CMP에서 슬러리 구성요소에 따른 재료제거 특성 연구