발행물
컨퍼런스
2022 한국생산제조학회 추계학술대회
2022
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FO-PLP 기판의 연삭가공 형상정밀도에 대한 이론적 모델링에 관한 연구
2022년도 한국기계가공학회 35주년 기념 추계학술대회
LiTaO3 웨이퍼 연삭에 모서리 형상이 미치는 영향에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 2022년도 제73회 추계학술대회
웨이퍼 연삭에서 웨이퍼 및 휠의 회전 방향에 따른 연삭액 유동에 관한 연구
차세대 결정공학 하계 워크샵
웨이퍼 연삭에서 휠 회전 속도에 따른 절삭유 체적 분율에 관한 연구
International conference on PRecision Engineering and Sustainable Manufacturing (PRESM2022)
Effect of Electrode Materials on Material Removal in Cu CMP Using Electrolytically-ionized Slurry