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원자층 증착법을 통한 나노입자 다기능 박막 코팅층

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Li-ion 2차전지의 Li 금속 양극을 위한 Li-Al-O 보호막의 원자층 증착 공정

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4H-SiC MOSFET의 게이트 절연막 열화

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Atomic-layer-deposited Li-Al-O protection layers on Li metal anodes for Li-ion batteries

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Ultra-thin Multi-functional coating layers on nanoparticles via atomic-layer-deposition