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부유 고조화 분석법 개선을 통한 플라즈마 특성 및 유전체 막 측정 방법

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Experimental Observation of plasma parameter and photoresist ashing in an inductively coupled plasma sources with MRWPT antenna

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Experimantal observation of hysteresis in a neon inductively coupled plasma at low pressure

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부유 고조화 분석법을 이용한 플라즈마 밀도 및 전자온도 측정 방법

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기판 전위가 그리드를 이용한 전자 온도 제어 플라즈마 시스템에 미치는 영향