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Effect of frequency on radial distribution of plasma potential in a dual-frequency capacitively coupled plasma

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RF-biased ICP 에서 이온 밀도와 전자 온도 측정 가능한 무선 측정 장치 개발

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유도 결합 플라즈마에서 그리드에 생성되는 쉬스와 전자 빔 생선과의 상관 관계

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유도 결합 플라즈마 E-mode에서 비활성기체 Ar,He,Ne 혼합 플라즈마의 밀도 역전과 히스테리시스 감소 현상 연구

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축전결합플라즈마에서 고조화파 저감과 플라즈마 균일도 향상