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초고속플라즈마전자온도측정을통한2 MHz 유도결합플라즈마의전자가열및동력학적특성연구

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초고속 전자 온도 측정법 개발을 통한 전자 온도의 이방성 연구

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60 MHz CCP에서의 전류 고조파성분과 전자 밀도 분포의관계에 대한 실험적 연구

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플라즈마에서 삼중 주파수를 이용한 밀리미터 두께의 유전체 두께 실시간 측정법 개발

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RF distortion effect by the external load on the floating harmonic method