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Inductively coupled plasma sources for photoresist ashing

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아르곤/헬륨 혼합 가스에서 부유 고조화 분석법을 사용한 개별 이온 밀도 측정 방법

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investigation on hysteresis of neon plasma in inductive discharge

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고주파수 고조화 분석법을 이용한 펄스 플라즈마 진단

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Ar/He plasma 에서의 Hysteresis 현상 변화와 E-mode에서의 전자 밀도 변화 연구