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Effect of DC biased grid on the oxygen inductively coupled plasma

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그리드를 적용한 펄스 유도 결합 플라즈마에서 전자 빔 에너지 변화 연구

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유도결합 플라즈마에서 그리드 시스템을 통한 이온 빔 특성 연구

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전자 빔의 에너지에 따른 Ar/O2 플라즈마의 electronegativity 특성 연구

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유도 결합 플라즈마에서 펄스를 인가한 극저온 전자 온도 플라즈마 특성연구