,

극저온 전자 온도 플라즈마에서 부유 고조화 분석법을 이용한 신뢰성 있는 전자온도 측정 연구

,

그리드를 적용한 축전 결합 플라즈마에서 전자 에너지 분포 변화 연구

,

극저온 전자 온도 플라즈마에서 RF 바이어스에 따른 이온 에너지 분포 제어 연구

,

극저온 전자 온도 플라즈마에서 고 종횡비 trench 구조의 Charging 전압 측정에 대한 실험적 연구

,

CF4 유도 결합플라즈마에서 전자 빔을 이용한 실리콘 패턴 웨이퍼 식각 연구