발행물
컨퍼런스
2023년 반도체디스플레이 춘계학술대회
,
병렬 평판형 헬리컬 공진기를 통한 플라즈마 균일도 개선
Optical Emission Spectroscopy에서 viewport의 오염에 의한 광량 감소 보상법 연구
16th international conference on plasma nano technoligy & science
high-Speed measurement for Pulsed Plasma Using the Floating Harmonic Method
Electron Beam Energy Control Using multi-DC Grid in Ar/CF4 Inductively Coupled Plasma
제64회 한국진공학회
평판형 헬리컬 공진기를 사용한 고밀도 플라즈마 소스 연구