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Pulsed plasma measurement using the floating harmonic method with high-time resolution

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유도 결합 플라즈마에서 바이어스 전력에 따른 웨이퍼 위치에서의 전자 온도 및 이온 밀도 측정

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Ar/He Plasma 에서 가스 조성비에 따른 봄 속도 및 이온 밀도 변화에 대한 연구

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Retarding field energy analyzer (RFEA) 를 이용한 유도 결합 플라즈마(ICP)에서 이온 에너지 분포 측정

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유도 결합 플라즈마에서 π-type 매칭 네트워크 전력 전달 효율 측정 연구