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Ar/SiH4 유도 결합 플라즈마에서의 전자에너지확률분포 특성 연구

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유도 결합 플라즈마에서 안테나의 권선수에 따른 병렬 공진 효과 연구

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유도 결합 플라즈마에서 극저온 기판 온도와 플라즈마 상호 의존성 연구

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Ar/CF4 유도 결합 플라즈마에서 이중 DC 그리드를 이용한 전자 빔 에너지 제어 연구

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극저온 전자 온도 플라즈마의 발생 및 응용 연구(발표)