,

이중 주파수를 사용한 유도 결합 플라즈마의 구동 주파수 효과에 의한 전자에너지분포함수와 라디칼 밀도 제어 연구

,

유도 결합 플라즈마에서 병렬 안테나의 공진 조건에 따른 플라즈마의 균일도 개선 연구

,

ECR 플라즈마에서 광방출 분광법을 이용한 준 안정종 밀도 연구

,

극저온 전자온도 CF4 플라즈마에서 증착 두께 연구

,

평판형 헬리컬 안테나에서 접지단 위치에 따른 이온 밀도 공간 균일도 제어 연구