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공정 플라즈마 진단을 위한 고조화파 분석법 및 진단 결과

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유도 결합 플라즈마에서 밸런스 파워에 의한 전자밀도의 증가효과

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비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구

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반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발

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Strong modification of the electron energy distribution function in inductive discharge in SF6/Ar plasmas due to additional capacitive bias with small power input