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다양한 가스를 이용한 유도 결합 플라즈마에서 E_H mode 전이 현상

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유도 결합 Ar/SF6 혼합 기체방전에서의 전자 에너지 분포 측정을 통한 플라즈마 변수 연구

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부유 랑뮤어 탐침법에서 다양한 전압파형에 대한 고조파 전류 특성 연구

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공정 플라즈마에서 실시간 유전박막두께 측정법의 보상연구

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유도 결합플라즈마에서의 기체 유량에 따른 전자에너지 분포의 전이