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플라즈마로부터의 이온포격에 의한 표면물질의 유전체 특성 변화 관찰

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다양한 공정 주파수에서 유도 결합 플라즈마의 플라즈마 밀도와 에너지 전달 효율 측정

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축전기의 과도 현상을 이용한 부유형 단일탐침 플라즈마 진단법 연구

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표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정

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The influence of radiation trapping on the metastable population density and applications to low-pressure plasma