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245

181

고효율, 회전대칭성 향상을 위한 유도 결합 플라즈마 안테나
정진욱
한국반도체 및 디스플레이 장비학회 2007년도 춘계학술대회, 200706

182

아르곤 4p 준위 광방출 분석법(OES)을 이용한 플라즈마의 전자온도 및 준안정 밀도 측정
정진욱
한국반도체및 디스플레이 장비학회 2007년도 춘계학술대회, 200706

183

Experiment and characteristic for size of a planar rf antenna in inductively coupled plasma
정진욱
한국반도체 및 디스플레이 장비학회 2007년도 춘계학술 대회, 200706

184

보조 안테나를 이용한 측면형 페라이트 ICP의 플라즈마 변수 제어
정진욱
한국반도체 및 디스플레이장비학회 2007년 춘계학술대회, 200706

185

400kHz 페라이트 유도결합 플라즈마를 위한 임피던스 매칭 네트워크
정진욱
한국반도체및 디스플레이 장비학회 2007년도 춘계학술대회, 200706

186

Floating probe for electron temperature and ion density measurement applicable to processing plasmas
정진욱, 0, 0
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 200702

187

distributed ferromagnetic inductively coupled palsam as an alternative plasma processing tool
정진욱, 0, 0
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS, 200610

188

Comparison of Plasma Densities Measured by Using Electrical Probes to Those Measured by Using Microwave Probes in Inductively Coupled Plasmas
정진욱, 0, 0
Journal of the Korean Physical Society, 200607

189

플라즈마 공정 시 비접촉식 방법으로 이온 에너지 분포 및 상태 변수 측정연구
정진욱, 0
전기전자재료학회논문지, 200606

190

Distributed Ferromagnetic ICP as an alternative plasma processing tool
정진욱
Proceedings of the 6th International Conference on reactive plasmas, 200601