발행물
컨퍼런스
6th Levitronix CMP and ultrapure conference
2011
,
CMP Scratches; Their detection and analysis on root causes
Annual Techical Conference(ANTEC2011)
Effect of thermoplastic elstomer properties in molded microscale features
제13회 한국 MEMS 학술대회
다양한 마스크 패턴을 이용하여 식각된 실리콘 나노팁에 관한 연구/ Study of dry etched Si nano tips by using various mask patterns
불화유기박막 증착 및 전주도금을 이용한 코발트-니켈 마이크로/나노몰드 제작
플렉서블 스테인레스 스틸 미세구조를 활용한 생물막 제어 연구