2008

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Si Nano needle 제작을 위한 유도결합 플라즈마 etching 공정개발

2008

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고감도 분석 특성을 갖는 Microwell Array Chip 제작 및 평가

2008

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Characteristics of High Power Energy Laser-induced Plasma Shockwave and Its Cleaning Performance

2008

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Imprinting을 이용한 DNA arry chip용 Nano well 형성방법

2008

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Nano Mother Mold의 재사용을 위한 IMpringting용 Ni Nano Stamp 복제 공정개발