발행물
컨퍼런스
한국재료학회 추계발표
2007
,
레이저 충격파 특성에 의한 입자 거동과 세정효율에 미치는 영향
CMP 개론 및 현황
한국재료학회
The Study of Reproduction Ni Mold for Imprinting by self assembled monolayer method
한국전기전자재료학회 추계학술대회
첨가제가 Ru CMP slurry의 안정화에 미치는 영향
한국전기전자재료학회 추계발표
ECMP 공정에서 전해질에 따른 Cu 표면 특성평가